臺式掃描電鏡的測量過程分為兩個基本步驟：掃描和探測。在掃描過程中，電子束按照一定的模式在樣品表面上進行掃描，掃描線圈在水平和垂直方向上控制電子束的位置。在探測過程中，樣品表面與電子束相互作用，產(chǎn)生多種種類的信號。常見的信號包括：次級電子(Secondary Electrons,SE)、散射電子(Back scattered Electrons,BSE)、熒光X射線(X-Ray Fluorescence,XRF)和樣品電流等。
 

　　次級電子是由電子束與樣品表面原子的相互作用所產(chǎn)生的。這些電子在樣品表面附近發(fā)生幾次散射后，離開樣品，并被探測器所探測到。次級電子的信號可以用于獲得樣品的表面形貌信息，因為次級電子的發(fā)射與樣品表面的幾何形貌有關(guān)。
 

　　散射電子是由電子束與樣品表面原子的相互作用所產(chǎn)生的。這些電子經(jīng)過一定的散射過程后，返回到探測器，并形成散射電子圖像。散射電子的信號可以用于獲得樣品的組成信息，因為散射電子受到樣品原子的核電荷和原子序數(shù)的影響，從而可以得到元素的分布情況。
 

　　熒光X射線是由電子束與樣品原子間的相互作用所產(chǎn)生的。當(dāng)電子束與樣品原子相互作用時，被激發(fā)的內(nèi)層電子會躍遷至低能級，釋放出X射線。這些X射線可以用于獲得樣品的元素組成信息和分布情況。
 

　　樣品電流是由電子束與樣品之間的相互作用所產(chǎn)生的。電子束在樣品表面上產(chǎn)生電子影響時，會引起電子的發(fā)射，從而產(chǎn)生一個電流。這個電流可以用于獲得樣品的導(dǎo)電性和電子能量分布等信息。
 

　　臺式掃描電鏡常用于以下領(lǐng)域：
 

　　1.觀察和分析各種材料的微觀形貌、表面形貌以及顆粒形態(tài)等，可用于制備材料的表征、材料缺陷分析等。
 

　　2.對生物樣品進行高清晰度成像，觀察生物細胞、細胞器、組織結(jié)構(gòu)等微觀結(jié)構(gòu)，用于生物學(xué)研究、醫(yī)學(xué)研究等領(lǐng)域。
 

　　3.具有高分辨率和高增倍倍率的特點，可觀察納米顆粒、納米結(jié)構(gòu)等微觀顆粒的外觀和形貌，有助于納米材料研究等領(lǐng)域。
 

　　4.可以用于觀察和分析環(huán)境污染物、顆粒物等相關(guān)樣品的形貌和組成，可以幫助了解污染源、污染程度以及環(huán)境影響等方面的問題。
 

　　5.體積小、使用方便，它可以被廣泛應(yīng)用于學(xué)校教學(xué)和科普活動中，幫助學(xué)生和大眾更直觀地了解微觀世界。